Zakres podróży
20mm
Rezolucja
0,125μm
Powtarzalność
＜1μm
Prostota
＜2μm
Równoległość
＜5μm
Pitchowanie
10″（50μradów）
Ziewanie
Maksymalna prędkość
5mm/sek
Ładowność
10 kg
Waga
1,5 kg
